Linh kiện quang học trong máy in thạch bản

Thiết kế quang học có nhiều ứng dụng trong lĩnh vực bán dẫn. Trong máy quang khắc, hệ thống quang học có nhiệm vụ hội tụ chùm sáng phát ra từ nguồn sáng và chiếu lên tấm wafer silicon để lộ ra mẫu mạch. Do đó, thiết kế và tối ưu hóa các thành phần quang học trong hệ thống quang khắc là một cách quan trọng để cải thiện hiệu suất của máy quang khắc. Sau đây là một số thành phần quang học được sử dụng trong máy quang khắc:

Mục tiêu chiếu
01 Vật kính chiếu là một bộ phận quang học quan trọng trong máy in thạch bản, thường bao gồm một loạt thấu kính như thấu kính lồi, thấu kính lõm và lăng kính.
02 Chức năng của nó là thu nhỏ mẫu mạch trên mặt nạ và tập trung nó vào tấm wafer được phủ chất cản quang.
03 Độ chính xác và hiệu suất của vật kính chiếu có ảnh hưởng quyết định đến độ phân giải và chất lượng hình ảnh của máy in thạch bản

Gương
01 Gươngđược sử dụng để thay đổi hướng ánh sáng và hướng nó đến đúng vị trí.
02 Trong máy quang khắc EUV, gương đặc biệt quan trọng vì ánh sáng EUV dễ bị vật liệu hấp thụ, do đó phải sử dụng gương có độ phản xạ cao.
03 Độ chính xác bề mặt và độ ổn định của bộ phản xạ cũng có tác động lớn đến hiệu suất của máy in thạch bản.

Bộ lọc
01 Bộ lọc được sử dụng để loại bỏ các bước sóng ánh sáng không mong muốn, cải thiện độ chính xác và chất lượng của quá trình quang khắc.
02 Bằng cách lựa chọn bộ lọc thích hợp, có thể đảm bảo chỉ có ánh sáng có bước sóng cụ thể đi vào máy quang khắc, do đó cải thiện độ chính xác và tính ổn định của quá trình quang khắc.

Lăng kính và các thành phần khác
Ngoài ra, máy in thạch bản cũng có thể sử dụng các thành phần quang học phụ trợ khác, chẳng hạn như lăng kính, bộ phân cực, v.v. để đáp ứng các yêu cầu in thạch bản cụ thể. Việc lựa chọn, thiết kế và chế tạo các thành phần quang học này phải tuân thủ nghiêm ngặt các tiêu chuẩn và yêu cầu kỹ thuật có liên quan để đảm bảo độ chính xác và hiệu quả cao của máy in thạch bản.

Tóm lại, việc ứng dụng các thành phần quang học trong lĩnh vực máy in thạch bản nhằm mục đích cải thiện hiệu suất và hiệu quả sản xuất của máy in thạch bản, qua đó hỗ trợ sự phát triển của ngành sản xuất vi điện tử. Với sự phát triển liên tục của công nghệ in thạch bản, việc tối ưu hóa và đổi mới các thành phần quang học cũng sẽ cung cấp tiềm năng lớn hơn cho việc sản xuất chip thế hệ tiếp theo.

Để biết thêm thông tin chi tiết và lời khuyên của chuyên gia, hãy truy cập trang web của chúng tôi tạihttps://www.jiujonoptics.com/để tìm hiểu thêm về sản phẩm và giải pháp của chúng tôi.